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1.PLD-450a型

脉冲激光溅射沉积系统

科研设备(图1)

系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。

用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。适用于各大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。

2.磁控溅射系统

科研设备(图2)

磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。

3.布鲁克Multimode 8原子力显微镜

科研设备(图3)

主要模式包括AFM、PFM、C-AFM、STM、EFM等。

通过对样品表面施加小于矫顽场的一个交流的电压,从而得到压电信号输出样品的表面形貌、畴、表面电荷等图片。

4.Radiant铁电测试仪 

科研设备(图4)

测试薄膜及陶瓷的铁电性能(P-E曲线)。

5.电学光伏测量系统

科研设备(图5)

测量不同光照强度下薄膜的光电信号。

6.精密光学显微镜

科研设备(图6)

最大光学放大倍数达1000倍。

7.Agilent4294A

科研设备(图7)

测试陶瓷的介电性能,包括阻抗、电容等参数。

8.PEM-1020 型电磁铁系统

科研设备(图8)

可用于磁参数测量,也可用于为铁氧体等磁性产品充磁。

9.CNA-11系列氦压缩机系统

科研设备(图9)

可制造出4K的低温,用于研究半导体、铁电体的低温性质。

10.流延机

科研设备(图10)

用于浆料流延制备薄至几微米的生片。

11.差热分析仪

(DTA, Netzsch STA449C Jupiter)

科研设备(图11)

可以快速而深入地对材料的热稳定性,分解行为,组分分析,相转变,熔融过程等进行表征。易于使用的顶部装样式系统,称重系统解析度高,长时间稳定性高。

12.sol-gel制备薄膜系统

科研设备(图12)

Sol-Gel溶胶-凝胶法是制备材料的湿化学方法中的一种崭新方法。它是一种由金属有机化合物,金属无机化合物或者二者混合物经过水解缩聚过程,逐渐凝胶化及进行相应的后处理,从而获得氧化物或其他化合物的工艺。

13.电化学工作站

科研设备(图13)

电化学工作站集成了线扫伏安、脉冲伏安、阶跃、溶出、脉冲电镀、交流阻抗谱、限压反馈循环充放电、零阻电流检测等电化学控制与测量技术。

14.真空手套箱

科研设备(图14)

主要功能在于对氧气、水、有机气体的清除,广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境。主要用于制备对空气、湿度等有较高要求的半导体材料。


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